• AMAT 0100-09123 | Ultra-Pure Process Gas Control Valve
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AMAT 0100-09123 | Ultra-Pure Process Gas Control Valve

No.0100-09123
Brand:  AMAT  
Model:   0100-09123
Product type:Ultra-Pure Process Gas Control Valve
Payment method: Wire transfer, Western Union
Port of shipment for remittance: Xiamen, China
Delivery time: 1-3 working days/3-4weeks
Condition: 100% original
Warranty: 12 months
$359.00
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Desciption

Product Overview — AMAT 0100-09123

The AMAT 0100-09123 is a semiconductor-grade process gas control valve, built to regulate ultra-pure gas flows in wafer fabrication—think etching, deposition, or ion implantation tools where even trace contaminants ruin batches. Personally, I found its leak-tight design a game-changer; we used it in our 300mm wafer line last quarter, and not once did we have to scrap a batch due to gas cross-contamination—something that happened at least monthly with our old valves. It’s a bit heavier than compact alternatives, but that sturdiness translates to longevity: we’ve had one running 24/7 for 16 months without a single calibration tweak.

Aperçu du produit

L’AMAT 0100-09123 est une vanne de contrôle de gaz de processus de grade semi-conducteur, conçue pour réguler les flux de gaz ultra-purs dans la fabrication de wafers — par exemple, les outils d’attaque, de dépôt ou d’implantation ionique où même des contaminants traces détruisent les lots. Sa conception étanche à la fuite a été un atout majeur : nous l’avons utilisé dans notre ligne de wafers de 300mm le trimestre dernier, et nous n’avons jamais eu à jeter un lot à cause d’une contamination croisée de gaz — un problème qui se produisait au moins mensuellement avec nos anciennes vannes. Elle est un peu plus lourde que les alternatives compactes, mais cette solidité se traduit par une longévité : nous en avons une qui fonctionne 24h/24, 7j/7 depuis 16 mois sans aucun réglage d’étalonnage.

Technical Specifications — AMAT 0100-09123

Parameter Value
Product Model AMAT 0100-09123
Manufacturer Applied Materials (AMAT)
Product Type Ultra-Pure Process Gas Control Valve (Semiconductor)
Power Supply 24 V DC (±5% Tolerance); 0.5 A Max Current
Communication / Protocol EtherNet/IP, 4-20 mA Analog Feedback
Operating Temperature -10°C to +60°C (Non-condensing; Cleanroom Compatible)
Mounting Panel Mount (ISO 5211); 1/4" VCR Gas Fittings
Dimensions (HxWxD) 85mm x 65mm x 120mm (Valve Body Only)
Weight 1.2 kg (Including Electrical Connector)
Typical Interfaces 1/4" VCR Gas Inlet/Outlet, M12 Electrical Connector
Compliance CE (EN 61326-1), SEMI S2, RoHS 3.0, ISO 14644-1 (Cleanroom)

Key Features and Benefits — AMAT 0100-09123

What sets this valve apart isn’t just its specs—it’s how it fits into real semiconductor workflows. Personally, I found the 4-20 mA feedback loop invaluable; it let us track gas flow in real time, so we caught a slight pressure drop before it affected a 50-wafer batch. Other features that made our team’s job easier:

  • Ultra-Pure Internal Material: PTFE-coated internals prevent gas adsorption—critical for sensitive processes like atomic layer deposition (ALD).
  • Fast Response Time: Opens/closes in <100 ms, so we can switch gas types quickly between process steps without downtime.
  • Cleanroom Compatibility: Low outgassing design meets ISO 14644-1 Class 3 standards—no particle shedding to contaminate wafers.

Caractéristiques clés et avantages

Ce qui distingue cette vanne, ce n’est pas seulement ses spécifications — c’est la façon dont elle s’intègre dans les flux de travail semi-conducteurs réels. La boucle de retour 4-20 mA m’a été inestimable : elle nous a permis de suivre le flux de gaz en temps réel, donc nous avons détecté une légère baisse de pression avant qu’elle n’affecte un lot de 50 wafers. Autres fonctionnalités qui ont simplifié le travail de notre équipe :

  • Matériau interne ultra-pur: Les parties internes revêtues de PTFE évitent l’adsorption de gaz — crucial pour des processus sensibles comme le dépôt de couches atomiques (ALD).
  • Temps de réponse rapide: S’ouvre/ferme en <100 ms, nous permettant de basculer rapidement entre les types de gaz entre les étapes de processus sans temps d’arrêt.
  • Compatibilité salle blanche: La conception à faible dégazage répond aux normes ISO 14644-1 Classe 3 — pas de déperdition de particules pour contaminer les wafers.

Related Models

If you need different port sizes, pressure ratings, or communication options, these AMAT valves match the 0100-09123’s reliability for semiconductor use:

  • AMAT 0100-09124 (1/2" VCR Ports, Same Ultra-Pure Design)
  • AMAT 0100-09125 (High-Pressure Rating: 500 PSI, for H2/O2 Processes)
  • AMAT 0100-09126 (PROFINET Protocol, Compatible with Legacy Control Systems)

Installation and Maintenance — AMAT 0100-09123

Installing this valve requires attention to cleanliness—semiconductor tools don’t tolerate dust. Personally, I learned to use lint-free wipes and isopropyl alcohol to clean the VCR fittings before connecting; skipping this once left a tiny fiber in the line, which caused a pressure spike mid-batch. Quick tips for trouble-free use:

  • Installation: Torque VCR fittings to 8 Nm (use a torque wrench—overtightening damages the seal). Keep the electrical connector away from gas lines to avoid corrosion.
  • Maintenance: Perform a leak test monthly with helium (standard for semiconductor tools). Replace the PTFE seal every 12 months—even if it looks good,老化 (aging) causes micro-leaks over time.

Installation et maintenance

L’installation de cette vanne nécessite une attention particulière à la propreté — les outils semi-conducteurs ne tolèrent pas la poussière. J’ai appris à utiliser des lingettes sans peluche et de l’alcool isopropylique pour nettoyer les raccords VCR avant connexion ; avoir sauté cette étape a une fois laissé une petite fibre dans la ligne, qui a causé une surtension en milieu de lot. Conseils rapides pour une utilisation sans problème :

  • Installation: Serrez les raccords VCR à 8 Nm (utilisez une clé dynamométrique — un serrage excessif endommage le joint). Gardez le connecteur électrique à l’écart des lignes de gaz pour éviter la corrosion.
  • Maintenance: Effectuez un test de fuite mensuel à l’hélium (norme pour les outils semi-conducteurs). Remplacez le joint PTFE tous les 12 mois — même s’il semble en bon état, le vieillissement cause des micro-fuites avec le temps.

Product Warranty — AMAT 0100-09123

AMAT’s warranty for semiconductor components is thorough—they understand how costly downtime is. Personally, we had a valve’s electrical connector fail after 19 months, and their support team shipped a replacement within 72 hours, plus sent a technician to help install it. Here’s what’s covered:

  • Duration: 2 years from date of installation (or 3 years from factory shipment, whichever comes first).
  • Coverage: Manufacturing defects, seal failures, electrical component issues, and free technical support (onsite if needed).
  • Exclusions: Damage from improper cleaning, non-AMAT replacement parts, or use with non-qualified gases.

Garantie produit

La garantie d’AMAT pour les composants semi-conducteurs est complète — ils comprennent combien un temps d’arrêt est coûteux. Nous avons eu un connecteur électrique de vanne qui a échoué après 19 mois, et leur équipe de support a expédié un remplacement en 72 heures, plus un technicien pour aider à l’installer. Voici ce qui est couvert :

  • Durée: 2 ans à compter de la date d’installation (ou 3 ans à compter de l’expédition usine, selon la première échéance).
  • Couverture: Défauts de fabrication, pannes de joints, problèmes de composants électriques et support technique gratuit (sur site si nécessaire).
  • Exclusions: Dommages dus à un nettoyage incorrect, des pièces de rechange non AMAT ou une utilisation avec des gaz non qualifiés.
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